Lateral growth of cobalt suicide observed by an MeV helium ion microprobe

• 作者A. Kinomura; M. Takai; S. Namba; H. Ryssel; P.H. Tsien; E. Burte; M. Satou; A. Chayahara
• 卷第64卷
• 印刷ISSN0168-583X
• 文件大小421.16KB
• 发表时间1992
• DOI10.1016/0168-583x(92)95575-c
• 页码770-773