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Effects of nitrogen on oxygen precipitation in silicon

Effects of nitrogen on oxygen precipitation in silicon

Sun, Q.; Yao, K. H.; Gatos, H. C.; Lagowski, J.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Sun, Q.; Yao, K. H.; Gatos, H. C.; Lagowski, J.
卷第71卷
期第8期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1054.12KB
发表时间1992
DOI10.1063/1.350886

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