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The electrostatic potentials in an electron-cyclotron-resonance processing plasma

The electrostatic potentials in an electron-cyclotron-resonance processing plasma

K. A. Ashtiani; J. L. Shohet; F. S. B. Anderson; D. T. Anderson; J. B. Friedmann

作者K. A. Ashtiani; J. L. Shohet; F. S. B. Anderson; D. T. Anderson; J. B. Friedmann
卷第12卷
期第2期
印刷ISSN0272-4324
电子ISSN1572-8986
文件大小525.31KB
发表时间1992-06
DOI10.1007/bf01447444
页码161-175

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