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Spin coating over topography

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Peurrung, L.M.; Graves, D.B.
  • 期刊名称IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
  • 作者Peurrung, L.M.; Graves, D.B.
  • 卷第6卷
  • 期第1期
  • 印刷ISSN0894-6507
  • 文件大小752.84KB
  • 发表时间1993
  • DOI10.1109/66.210660
  • 页码72-76
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