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Reactive ion-plating at low ion energies with an unbalanced magnetron

Reactive ion-plating at low ion energies with an unbalanced magnetron

RP Howson; HA Ja'fer; AG Spencer

作者RP Howson; HA Ja'fer; AG Spencer
卷第44卷
印刷ISSN0042-207X
文件大小401.99KB
发表时间1993
DOI10.1016/0042-207x(93)90152-z
页码191-195

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