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Optical characterization of sputtered semitransparent zirconium nitride films

Optical characterization of sputtered semitransparent zirconium nitride films

Monica Veszelie; Kent E. Andersson; Arne Roos

作者Monica Veszelie; Kent E. Andersson; Arne Roos
卷第2卷
期第4期
印刷ISSN0925-3467
文件大小780.86KB
发表时间1993
DOI10.1016/0925-3467(93)90022-s
页码257-266

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