MeV Boron Implantation and Masking
Lavine, James P.; Filo, A. J.; Losee, D. L.; Guidash, P. A.; Lee, S.-T.; Braunstein, G. H.; Kosman, S. L.; Kyan, H.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Lavine, James P.; Filo, A. J.; Losee, D. L.; Guidash, P. A.; Lee, S.-T.; Braunstein, G. H.; Kosman, S. L.; Kyan, H.
- 卷第316卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小281.17KB
- 发表时间1993-1
- DOI10.1557/proc-316-361