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An Ion Assisted Evaporation Technique for Use in the Fabrication of Semiconductor Devices

An Ion Assisted Evaporation Technique for Use in the Fabrication of Semiconductor Devices

D. V. Morgan; S. Morgan; M. W. Akhtar; D. E. Davies

作者D. V. Morgan; S. Morgan; M. W. Akhtar; D. E. Davies
卷第137卷
期第1期
印刷ISSN1862-6319
文件大小413.85KB
发表时间1993
DOI10.1002/pssa.2211370112
页码155-164

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