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Selective area deposition of diamond on 4 in Si wafers

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W. Hänni; C. Müller; M. Binggeli; H.E. Hintermann; P. Krebs; A. Grisel

作者W. Hänni; C. Müller; M. Binggeli; H.E. Hintermann; P. Krebs; A. Grisel
卷第236卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小386.93KB
发表时间1993
DOI10.1016/0040-6090(93)90648-9
页码87-90

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