Nondestructive characterization of SIMOX structures

R.M. Geatches; K.J. Reason; A.J. Griddle; R.P. Webb; P.J. Pearson; P.L.F. Hemment; A. Nejim

作者R.M. Geatches; K.J. Reason; A.J. Griddle; R.P. Webb; P.J. Pearson; P.L.F. Hemment; A. Nejim
卷第84卷
期第2期
印刷ISSN0168-583X
文件大小592.48KB
发表时间1994
DOI10.1016/0168-583x(94)95766-5
页码258-264

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