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Diffusion-limited etching of p-GaAs in NaOHNa2EDTA solutions

Diffusion-limited etching of p-GaAs in NaOHNa2EDTA solutions

C.Y. Chen; W. Reichert; R.M. Cohen

作者C.Y. Chen; W. Reichert; R.M. Cohen
卷第19卷
文件大小468.41KB
发表时间1994
DOI10.1016/0167-577x(94)90052-3
页码109-113

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