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Oxidation of silicon by low energy oxygen bombardment

Oxidation of silicon by low energy oxygen bombardment

Williams, J. S.; Petravić, M.; Svensson, B. G.; Conway, M.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Williams, J. S.; Petravić, M.; Svensson, B. G.; Conway, M.
卷第76卷
期第3期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1134.87KB
发表时间1994
DOI10.1063/1.357704

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