High-rate deposition of titanium silicides under high gas flow rate by chemical vapour deposition
- 作者C. Kawai
- 卷第13卷
- 期第12期
- 印刷ISSN0261-8028
- 电子ISSN1573-4811
- 文件大小359.68KB
- 发表时间1994-06-15
- DOI10.1007/bf00273230
- 页码860-862
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