Amorphous chalcogenide inorganic resist.
- 期刊名称Journal of Photopolymer Science and Technology
- 作者YOSHIKAWA, AKIRA
- 卷第7卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0914-9244
- 电子ISSN1349-6336
- 文件大小444.30KB
- 发表时间1994
- DOI10.2494/photopolymer.7.577
- 页码577-584
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