Investigation of radiation damage in ion implanted and annealed SiC layers
W. Wesch; A. Heft; J. Heindl; H.P. Strunk; T. Bachmann; E. Glaser; E. Wendler
- 作者W. Wesch; A. Heft; J. Heindl; H.P. Strunk; T. Bachmann; E. Glaser; E. Wendler
- 卷第106卷
- 印刷ISSN0168-583X
- 文件大小659.31KB
- 发表时间1995
- DOI10.1016/0168-583x(96)80027-9
- 页码339-345