Comparison of experimental target currents with analytical model results for plasma immersion ion implantation

• 作者En, W.G.; Lieberman, M.A.; Cheung, N.W.
• 卷第23卷
• 期第3期
• 印刷ISSN0093-3813
• 电子ISSN1939-9375
• 文件大小672.62KB
• 发表时间1995
• DOI10.1109/27.402334