Filtered vacuum arc deposition of semiconductor thin films

Boxman, R.L.; Goldsmith, S.; Ben-Shalom, A.; Kaplan, L.; Arbilly, D.; Gidalevich, E.; Zhitomirsky, V.; Ishaya, A.; Keidar, M.; Beilis, I.I.

作者Boxman, R.L.; Goldsmith, S.; Ben-Shalom, A.; Kaplan, L.; Arbilly, D.; Gidalevich, E.; Zhitomirsky, V.; Ishaya, A.; Keidar, M.; Beilis, I.I.
卷第23卷
期第6期
印刷ISSN0093-3813
电子ISSN1939-9375
文件大小782.63KB
发表时间1995
DOI10.1109/27.476479

发现好书期刊，享受阅读乐趣