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The etching effect of trisdimethylaminoantimony on (001) planar substrates

The etching effect of trisdimethylaminoantimony on (001) planar substrates

A.B. Villaflor; H. Asahi; D. Marx; K. Miki; K. Yamamoto; S. Gonda

作者A.B. Villaflor; H. Asahi; D. Marx; K. Miki; K. Yamamoto; S. Gonda
卷第150卷
印刷ISSN0022-0248
文件大小569.82KB
发表时间1995
DOI10.1016/0022-0248(95)80287-m
页码638-643

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