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The chemical vapor deposition of copper and copper alloys

The chemical vapor deposition of copper and copper alloys

Pascal Doppelt; Thomas H. Baum

作者Pascal Doppelt; Thomas H. Baum
卷第270卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小336.86KB
发表时间1995
DOI10.1016/0040-6090(95)06835-x
页码480-482

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