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R.F. bias effect on ECR plasma

R.F. bias effect on ECR plasma

M. Murata; Y. Takeuchi; Y. Kai; M. Tanaka; Y. Kawai

作者M. Murata; Y. Takeuchi; Y. Kai; M. Tanaka; Y. Kawai
印刷ISSN0257-8972
文件大小291.07KB
发表时间1995
DOI10.1016/0257-8972(95)08309-x
页码512-515

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