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Fabrication and dynamic testing of electrostatic actuators with p+ silicon diaphragms

Fabrication and dynamic testing of electrostatic actuators with p+ silicon diaphragms

E.H. Yang; S.S. Yang; S.W. Han; S.Y. Kim

作者E.H. Yang; S.S. Yang; S.W. Han; S.Y. Kim
卷第50卷
印刷ISSN0924-4247
文件大小602.29KB
发表时间1995
DOI10.1016/0924-4247(96)80100-2
页码151-156

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