Electrical and Structural Properties of MeV Si+ Ion Implantation in Silicon
Agarwal, Aditya; Koveshnikov, S.; Christensen, K.; Rozgonyi, G. A.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Agarwal, Aditya; Koveshnikov, S.; Christensen, K.; Rozgonyi, G. A.
- 卷第378卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小2167.84KB
- 发表时间1995-1
- DOI10.1557/proc-378-71