发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon

Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon

Ole Krogh; Robert N. Carlile; Robert N. Nowlin

作者Ole Krogh; Robert N. Carlile; Robert N. Nowlin
卷第15卷
期第2期
印刷ISSN0272-4324
电子ISSN1572-8986
文件大小1126.50KB
发表时间1995-06
DOI10.1007/bf01459698
页码231-255

← 返回【学霸图书馆】主页