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The study of LIGA technique at NSRL

The study of LIGA technique at NSRL

Y. Tian; Y. Hong; S. Fu; Y. Hu; Y. Kan; X. Tao

作者Y. Tian; Y. Hong; S. Fu; Y. Hu; Y. Kan; X. Tao
卷第2卷
期第1期
印刷ISSN0946-7076
电子ISSN1432-1858
文件大小450.67KB
发表时间1995-03
DOI10.1007/bf02739553
页码171-173

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