Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers
- 作者R. Ruprecht; H. Kalb; B. Kowanz; W. Bacher
- 卷第2卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小647.19KB
- 发表时间1995-03
- DOI10.1007/bf02739556
- 页码182-185
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