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Sputtering of DyFeCo layers with an unbalanced magnetron

Sputtering of DyFeCo layers with an unbalanced magnetron

D. Mergel; H. Bentin; D. Raasch

作者D. Mergel; H. Bentin; D. Raasch
卷第259卷
期第2期
印刷ISSN0040-6090
文件大小781.72KB
发表时间1995
DOI10.1016/0040-6090(94)06454-7
页码237-243

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