Formation of PNx/lnP structure byIn Situremote plasma processes

• 作者Yoshifumi Sakamoto; Takashi Sugino; Takashi Miyazaki; Junji Shirafuji
• 卷第25卷
• 期第5期
• 印刷ISSN0361-5235
• 电子ISSN1543-186X
• 文件大小490.55KB
• 发表时间1996-05
• DOI10.1007/bf02666510
• 页码597-601