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High temperature carbon implantation in SIMOX

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A. Nejim; P.L. Hemment; J. Stoemenos

作者A. Nejim; P.L. Hemment; J. Stoemenos
卷第120卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小490.56KB
发表时间1996
DOI10.1016/s0168-583x(96)00494-6
页码129-132

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