Applications of the normal-incidence rotating-sample ellipsometer to high- and low-spatial-frequency gratings

• 期刊名称ao/35/13/ao-35-13-2235.pdf
• 作者Cui, Y.; Azzam, R. M. A.
• 卷第35卷
• 期第13期
• 印刷ISSN0003-6935
• 电子ISSN1539-4522
• 文件大小196.31KB
• 发表时间1996
• DOI10.1364/AO.35.002235