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Formation of porous silicon on patterned substrates

M Krüger; R Arens-Fischer; M Thönissen; H Münder; M.G Berger; H Lüth; S Hilbrich; W Theiss

作者M Krüger; R Arens-Fischer; M Thönissen; H Münder; M.G Berger; H Lüth; S Hilbrich; W Theiss
卷第276卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小859.85KB
发表时间1996
DOI10.1016/0040-6090(95)08066-x
页码257-260