Precision manufacturing using LIGA (abstract)
K. H. Jackson; C. K. Malek; W. D. Bonivert; J. M. Hruby; J. T. Hachman; R. A. Brennen; D. Wiberg; M. H. Hecht
- 作者K. H. Jackson; C. K. Malek; W. D. Bonivert; J. M. Hruby; J. T. Hachman; R. A. Brennen; D. Wiberg; M. H. Hecht
- 文件大小780.07KB
- 发表时间1996
- DOI10.1063/1.1147383