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Photoassisted dry etching of GaN
Leonard, R. T.; Bedair, S. M.
期刊名称
Applied Physics Letters
作者
Leonard, R. T.; Bedair, S. M.
卷
第68卷
期
第6期
印刷ISSN
0003-6951
文件大小
322.57KB
发表时间
1996
DOI
10.1063/1.116535
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