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Free Electron Laser Annealing of Amorphous Silicon Carbide

Free Electron Laser Annealing of Amorphous Silicon Carbide

H. Ohyama; T. Suzuki; K. Nishi; T. Mitsuyu; T. Tomimasu

作者H. Ohyama; T. Suzuki; K. Nishi; T. Mitsuyu; T. Tomimasu
文件大小378.45KB
发表时间1996
DOI10.1143/JJAP.35.L683

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