Nanocharacterization of Texture and Hillock Formation in Thin Al And Al-0.2%Cu Films for Thin-Film Transistors
Takatsuji, H.; Tsuji, S.; Kitahara, H.; Tsujimoto, K.; Kuroda, K.; Saka, H
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Takatsuji, H.; Tsuji, S.; Kitahara, H.; Tsujimoto, K.; Kuroda, K.; Saka, H
- 卷第441卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小1990.45KB
- 发表时间1996-1
- DOI10.1557/proc-441-415