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Smart Piezoelectric PZT Microcantilevers with Inherent Sensing and Actuating Abilities for AFM and LFM

Smart Piezoelectric PZT Microcantilevers with Inherent Sensing and Actuating Abilities for AFM and LFM

Lee, C.; Itoh, T.; Chu, J.; Ohashi, T.; Maeda, R.; Schroth, A.; Suga, T.

期刊名称MRS Proceedings
作者Lee, C.; Itoh, T.; Chu, J.; Ohashi, T.; Maeda, R.; Schroth, A.; Suga, T.
卷第459卷
电子ISSN1946-4274
文件大小3268.88KB
发表时间1996-1
DOI10.1557/proc-459-35

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