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Ion Energy Distributions in Silane-Hydrogen Plasmas

Hamers, E. A. G.; Van Sark, W. G. J. H. M.; Bezemer, J.; Van Der Weg, W. F.; Goedheer, W. J.

期刊名称MRS Proceedings
作者Hamers, E. A. G.; Van Sark, W. G. J. H. M.; Bezemer, J.; Van Der Weg, W. F.; Goedheer, W. J.
卷第420卷
电子ISSN1946-4274
文件大小363.14KB
发表时间1996-1
DOI10.1557/proc-420-461