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AFM-based fabrication of Si nanostructures

AFM-based fabrication of Si nanostructures

P.M. Campbell; E.S. Snow; P.J. McMarr

作者P.M. Campbell; E.S. Snow; P.J. McMarr
卷第227卷
印刷ISSN0921-4526
文件大小239.85KB
发表时间1996
DOI10.1016/0921-4526(96)00429-2
页码315-317

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