A Linear Model for the Interpretation of Optical Emission Spectroscopy Measurements in Low Pressure DC Magnetron Sputtering

• 作者J. Schulte; G. Sobe; G. Reiss
• 卷第37卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0863-1042
• 电子ISSN1521-3986
• 文件大小902.19KB
• 发表时间1997
• DOI10.1002/ctpp.2150370603
• 页码483-497