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Sputtering of elemental metals by Ar cluster ions

Sputtering of elemental metals by Ar cluster ions

Jiro Matsuo; Noriaki Toyoda; Makoto Akizuki; Isao Yamada

作者Jiro Matsuo; Noriaki Toyoda; Makoto Akizuki; Isao Yamada
卷第121卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小452.50KB
发表时间1997
DOI10.1016/s0168-583x(96)00541-1
页码459-463

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