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SiO[sub 2] aerogel film as a novel intermetal dielectric

SiO[sub 2] aerogel film as a novel intermetal dielectric

M. Jo; H. Park; D. Kim; S. Hyun; S. Choi; J. Paik

作者M. Jo; H. Park; D. Kim; S. Hyun; S. Choi; J. Paik
卷第82卷
期第3期
文件大小512.37KB
发表时间1997
DOI10.1063/1.365902

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