Fabrication and characterization of truly 3-D diffuser/nozzle microstructures in silicon
- 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
- 作者Heschel, M.; Mullenborn, M.; Bouwstra, S.
- 卷第6卷
- 期第1期
- 印刷ISSN1057-7157
- 文件大小256.26KB
- 发表时间1997-3
- DOI10.1109/84.557529
- 页码41-47
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