Molecular layer epitaxy by real-time optical process monitoring

K.J. Bachmann; C. Höpfner; N. Sukidi; A.E. Miller; C. Harris; D.E. Aspnes; N.A. Dietz; H.T. Tran; S. Beeler; K. Ito; H.T. Banks; U. Rossow

作者K.J. Bachmann; C. Höpfner; N. Sukidi; A.E. Miller; C. Harris; D.E. Aspnes; N.A. Dietz; H.T. Tran; S. Beeler; K. Ito; H.T. Banks; U. Rossow
卷第112卷
印刷ISSN0169-4332
文件大小549.40KB
发表时间1997
DOI10.1016/s0169-4332(96)00975-0
页码38-47

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