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SPA Monitoring of GaN Movpe Surface

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Kobayashi, Naoki; Kobayashi, Yasuyuki

期刊名称MRS Proceedings
作者Kobayashi, Naoki; Kobayashi, Yasuyuki
卷第502卷
电子ISSN1946-4274
文件大小375.78KB
发表时间1997-1
DOI10.1557/proc-502-35

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