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Morphology and Texture of Chemical-Vapour-Deposited TiN Films

Morphology and Texture of Chemical-Vapour-Deposited TiN Films

Yoshikawa, Noboru; Taniguchi, Shoji; Kikuchi, Atsushi

期刊名称MRS Proceedings
作者Yoshikawa, Noboru; Taniguchi, Shoji; Kikuchi, Atsushi
卷第472卷
电子ISSN1946-4274
文件大小4350.30KB
发表时间1997-1
DOI10.1557/proc-472-221

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