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Icp Etching Of SiC

Wang, J. J.; Lambers, E. S.; Pearton, S. J.; Ostling, M.; Zetterling, C.-M.; Grow, J. M.; Ren, F.

期刊名称MRS Proceedings
作者Wang, J. J.; Lambers, E. S.; Pearton, S. J.; Ostling, M.; Zetterling, C.-M.; Grow, J. M.; Ren, F.
卷第483卷
电子ISSN1946-4274
文件大小449.11KB
发表时间1997-1
DOI10.1557/proc-483-177