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Two thin film shape memory alloy microactuators

NAKAMURA, Yousuke; NAKAMURA, Shigeo; BUCHAILLOT, Lionel; ATAKA, Manabu; FUJITA, Hiroyuki

期刊名称IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
作者NAKAMURA, Yousuke; NAKAMURA, Shigeo; BUCHAILLOT, Lionel; ATAKA, Manabu; FUJITA, Hiroyuki
卷第117卷
期第11期
印刷ISSN1341-8939
电子ISSN1347-5525
文件大小3202.24KB
发表时间1997
DOI10.1541/ieejsmas.117.554
页码554-559