Cleaning of AlN and GaN surfaces
King, S. W.; Barnak, J. P.; Bremser, M. D.; Tracy, K. M.; Ronning, C.; Davis, R. F.; Nemanich, R. J.
- 作者King, S. W.; Barnak, J. P.; Bremser, M. D.; Tracy, K. M.; Ronning, C.; Davis, R. F.; Nemanich, R. J.
- 卷第84卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0021-8979
- 文件大小476.12KB
- 发表时间1998
- DOI10.1063/1.368814