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Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern

Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern

Herr. Dr.-Ing. G. Berg; Chr. Friedrich; J. Senf; E. Broszeit; K.-H. Kloos

作者Herr. Dr.-Ing. G. Berg; Chr. Friedrich; J. Senf; E. Broszeit; K.-H. Kloos
卷第29卷
期第9期
印刷ISSN0933-5137
电子ISSN1521-4052
文件大小939.45KB
发表时间1998
DOI10.1002/mawe.19980290903
页码452-458

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