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Reticle Critical Dimension Latitude for Fabrication of 0.18 µm Line Patterns

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S. Matsuura; T. Uchiyama; M. Fujimoto; T. Yamazaki; T. Hashimoto; K. Kasama
  • 作者S. Matsuura; T. Uchiyama; M. Fujimoto; T. Yamazaki; T. Hashimoto; K. Kasama
  • 文件大小1018.03KB
  • 发表时间1998
  • DOI10.1143/JJAP.37.6689
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