Silicon microphones - a Danish perspective
S. Bouwstra; T. Storgaard-larsen; P. Scheeper; J. O. Gulløv; J. Bay; M. Müllenborg; P. Rombach
- 作者S. Bouwstra; T. Storgaard-larsen; P. Scheeper; J. O. Gulløv; J. Bay; M. Müllenborg; P. Rombach
- 文件大小252.54KB
- 发表时间1998
- DOI10.1088/0960-1317/8/2/005